Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/133767
Title: Исследование начальных стадий роста пленок германия в горизонтальном реакторе пониженного давления.
Authors: Наливайко, О. Ю.
Турцевич, А. С.
Лепешкевич, Г. В.
Жигулин, Д. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date: 2015
Publisher: Минск : РИВШ
Citation: Квантовая электроника: Материалы X Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 9–13 нояб. 2015 г. – Минск, 2015. – С. 115-116.
Abstract: Установлены условия процесса осаждения Ge, которые позволяют варьировать размер зерна и шероховатость пленок Ge.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/133767
ISBN: 978-985-500-903-1
Appears in Collections:2015. Квантовая электроника

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
115_Nalivaiko.pdf476,44 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.