Физика отказов полупроводниковых приборов и интегральных схем : пособие / В. М. Борздов, В. М. Молофеев, А. Н. Сетун

Abstract

В пособии рассматриваются фундаментальные физико-химические процессы, приводящие к деградации параметров и внезапным отказам полупроводниковых приборов и интегральных микросхем при различных условиях эксплуатации. Излагаются методы расчета и прогнозирования количественных показателей надежности изделий микро- и наноэлектроники, моделирования отказов микро- и наноэлектронных структур и процессов деградации электрофизических параметров в этих структурах, а также физические основы ускоренных испытаний. Для студентов учреждения высшего образования, обучающихся по специальностям 1-31 04 02 «Радиофизика» и 1-31 04 03 «Физическая электроника».