Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120282| Заглавие документа: | БЫСТРАЯ ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ Ni/Si |
| Авторы: | Канныкин, С. В. Сербин, О. В. Кущев, С. Б. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2015 |
| Аннотация: | Приведены результаты электронографических исследований и оптических свойств силицидов никеля, полученных быстрой термической обработкой (БТО) гетероструктуры Ni-5%Pt/Si. Определены коэффициенты отражения тонких пленок NiSi и Ni2Si, полученных в результате БТО слоистой структуры Ni-5%Pt/Si на кремниевых подложках ориентации (100). Показано, что различие в спектрах отражения связано с различным фазовым составом силицидов. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120282 |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Канныкин-Чапланов.pdf | 319,91 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.