Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/120282
Title: БЫСТРАЯ ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ Ni/Si
Authors: Канныкин, С. В.
Сербин, О. В.
Кущев, С. Б.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2015
Abstract: Приведены результаты электронографических исследований и оптических свойств силицидов никеля, полученных быстрой термической обработкой (БТО) гетероструктуры Ni-5%Pt/Si. Определены коэффициенты отражения тонких пленок NiSi и Ni2Si, полученных в результате БТО слоистой структуры Ni-5%Pt/Si на кремниевых подложках ориентации (100). Показано, что различие в спектрах отражения связано с различным фазовым составом силицидов.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/120282
Appears in Collections:2015. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Канныкин-Чапланов.pdf319,91 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.