Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120282
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Канныкин, С. В. | - |
dc.contributor.author | Сербин, О. В. | - |
dc.contributor.author | Кущев, С. Б. | - |
dc.date.accessioned | 2015-10-09T06:38:41Z | - |
dc.date.available | 2015-10-09T06:38:41Z | - |
dc.date.issued | 2015 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120282 | - |
dc.description.abstract | Приведены результаты электронографических исследований и оптических свойств силицидов никеля, полученных быстрой термической обработкой (БТО) гетероструктуры Ni-5%Pt/Si. Определены коэффициенты отражения тонких пленок NiSi и Ni2Si, полученных в результате БТО слоистой структуры Ni-5%Pt/Si на кремниевых подложках ориентации (100). Показано, что различие в спектрах отражения связано с различным фазовым составом силицидов. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | БЫСТРАЯ ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ Ni/Si | ru |
dc.type | conference paper | ru |
Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Канныкин-Чапланов.pdf | 319,91 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.