Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120281| Заглавие документа: | ВОЗДЕЙСТВИЕ НАНОИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА ТОНКИЕ ПЛЕНКИ TiAlN/Si |
| Авторы: | Ивлев, Г. Д. Зайков, В. А. Климович, И. М. Людчик, О. Р. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2015 |
| Аннотация: | Методом оптической микроскопии исследовано воздействие интенсивного наносекундного (70 нс) излучения рубинового лазера (λ = 0.69 мкм) на состояние тонкоплѐночной системы TiAlN/Si. Получены данные о динамике отражательной способности зон лазерной обработки на длине волны зондирующего излучения 1.06 мкм. Исследуемые образцы приготавливались методом магнетронного распыления мишени с сопутствующим формированием тонкой (0.5 мкм) плѐнки TiAlN на кремниевой подложке и облучались при плотностях энергии 0.5-1.6 Дж/см2. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120281 |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Ивлев-2.pdf | 746,11 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.