Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/120281
Title: ВОЗДЕЙСТВИЕ НАНОИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА ТОНКИЕ ПЛЕНКИ TiAlN/Si
Authors: Ивлев, Г. Д.
Зайков, В. А.
Климович, И. М.
Людчик, О. Р.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2015
Abstract: Методом оптической микроскопии исследовано воздействие интенсивного наносекундного (70 нс) излучения рубинового лазера (λ = 0.69 мкм) на состояние тонкоплѐночной системы TiAlN/Si. Получены данные о динамике отражательной способности зон лазерной обработки на длине волны зондирующего излучения 1.06 мкм. Исследуемые образцы приготавливались методом магнетронного распыления мишени с сопутствующим формированием тонкой (0.5 мкм) плѐнки TiAlN на кремниевой подложке и облучались при плотностях энергии 0.5-1.6 Дж/см2.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/120281
Appears in Collections:2015. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Ивлев-2.pdf746,11 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.