СТРУКТУРА И МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ ZrSiN, СФОРМИРОВАННЫХ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ

Abstract

В работе представлены результаты исследования элементного состава, структурно-фазового состояния и механических (твердость, модуль упругости, коэффициент трения) свойств покрытий на основе ZrSiN, сформированных методом магнетронного распыления. Повышение концентрации кремния в покрытиях от 3,2 до 22,2 ат. % приводит к формированию аморфной матрицы на основе Si-N с включенными кристаллитами кубического нитрида циркония. Проведенные трибологические испытания показали снижение коэффициента трения до значения 0.15 в покрытиях, содержащих 3,2 ат. % кремния, что связано с улучшением упруго-пластических характеристик.