ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК, ОСАЖДЕННЫХ ИЗ АНОМАЛЬНОГО ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

Abstract

Исследованы характеристики оптического поглощения поликристаллических алмазных пленок, осажденных из аномального тлеющего разряда. Параметры межзонного и внутризонного поглощения в пленках обусловлены непрерывным распределением по энергии в запрещенной зоне (ЗЗ) состояний, наведенных дефектами различной природы. Край поглощения кристаллической фазы пленок отделяется от зоны поглощения, обусловленной электронными переходами между локализованными состояниями дефектов. Ширина запрещенной зоны сужается на 0.2–0.5 эВ от свойственной алмазу величины. Формируется дополнительный край поглощения пленок в интервале энергии 1.2–3.3 эВ, где выполняется правило Урбаха и реализуется межзонное поглощение при прямых разрешенных переходах через оптическую щель 1.1–1.5 эВ. Средняя ширина ЗЗ пленок составляет 2.6–3.24 эВ по оценке в рамках полуклассической межзонной модели. Установленная взаимосвязь параметров межзонного и экспоненциального поглощения обусловлена статическим и/или динамическим разупорядочением кристаллической решетки в кристаллитах.