Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120086| Title: | ОСАЖДЕНИЕ НИТРИДНЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ ФИЛЬТРОВАННОЙ ВАКУУМНО-ДУГОВОЙ ПЛАЗМЫ КАТОДОВ Ti-Si, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ПОРОШКОВОЙ МЕТАЛЛУРГИИ |
| Authors: | Васильев, В. В. Лучанинов, А. А. Решетняк, Е. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2015 |
| Abstract: | Методом порошковой металлургии получены катоды системы Ti-Si для вакуумно-дугового осаждения упрочняющих нитридных покрытий. Установлено, что спекание порошковых смесей Ti+Ti5Si3 обеспечивает синтез качественных ка-тодных материалов с высоким содержанием кремния до 20 ат. %. Использован способ подачи реакционного газа в вакуумную камеру через источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы, который позволил добиться стабильной работы порошковых катодов при осаждении покрытий нитридов. Исследовано влияние параметров осаждения на со-став, структуру и свойства покрытий Ti-Si-N. Определены условия, позволяющие синтезировать наноструктурные покрытия с высокой твердостью. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120086 |
| Appears in Collections: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Васильев, Лучанинов.. .pdf | 759,29 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.