Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120051
Заглавие документа: | УВЕЛИЧЕНИЕ КОЭФФИЦИЕНТА ИСПОЛЬЗОВАНИЯ МАТЕРИАЛА МИШЕНИ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ |
Авторы: | Достанко, А. П. Голосов, Д. А. Мельников, С. Н. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2015 |
Аннотация: | Проведены исследования профилей эрозии мишени магнетрона при различном уровне несбалансированности магнитной системы. Установлено, что профиль эрозии при постоянном давлении не зависит от режимов распыления, времени и материала мишени. Коэффициент использования материала мишени определяется только параметрами магнитной системы магнетрона и является характеристикой определенной магнетронной распылительной системы. Увеличение коэффициента использования материала мишени достигается за счет устранения фокусирующего действия магнитного поля и изменения кривизны силовых линий магнитного поля при несбалансированной конфигурации магнитного поля. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120051 |
Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Достанко-Мельников.pdf | 616,34 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.