Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/120051
Заглавие документа: УВЕЛИЧЕНИЕ КОЭФФИЦИЕНТА ИСПОЛЬЗОВАНИЯ МАТЕРИАЛА МИШЕНИ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ
Авторы: Достанко, А. П.
Голосов, Д. А.
Мельников, С. Н.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2015
Аннотация: Проведены исследования профилей эрозии мишени магнетрона при различном уровне несбалансированности магнитной системы. Установлено, что профиль эрозии при постоянном давлении не зависит от режимов распыления, времени и материала мишени. Коэффициент использования материала мишени определяется только параметрами магнитной системы магнетрона и является характеристикой определенной магнетронной распылительной системы. Увеличение коэффициента использования материала мишени достигается за счет устранения фокусирующего действия магнитного поля и изменения кривизны силовых линий магнитного поля при несбалансированной конфигурации магнитного поля.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/120051
Располагается в коллекциях:2015. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Достанко-Мельников.pdf616,34 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.