МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ВЫСОКОДОЗНОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДВУХ ТИПОВ ИОНОВ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК СОЕДИНЕНИЙ A3B5 В КРЕМНИИ

Комаров, А. Ф.; Михайлов, В. В.; Мискевич, С. А.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/120027

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Комаров, А. Ф.	-
dc.contributor.author	Михайлов, В. В.	-
dc.contributor.author	Мискевич, С. А.	-
dc.date.accessioned	2015-10-06T09:06:31Z	-
dc.date.available	2015-10-06T09:06:31Z	-
dc.date.issued	2015	-
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/120027	-
dc.description.abstract	Разработана физико-математическая модель и программное обеспечение для моделирования процесса высокодозной имплантации мышьяка и индия в кремний, учитывающая радиационно-стимулированную диффузию примеси, распыление и распухание мишени, а также образование новой фазы. Экспериментально установлено формирование нанокластеров кристаллического InAs со средним диаметром 7 нм и плотностью их распределения 2,87x1011 см-2 в процессе имплантации As (170 кэВ, 3,2x1016 см-2) и In (250 кэВ, 2,8x1016 см-2) при Т = 500 С в Si.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ВЫСОКОДОЗНОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДВУХ ТИПОВ ИОНОВ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК СОЕДИНЕНИЙ A3B5 В КРЕМНИИ	ru
dc.type	conference paper	ru
Appears in Collections:	2015. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Комаров.pdf		734,65 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar