Наноразмерная обработка поверхности металлов при бомбардировке тяжёлыми ионами низких энергий

Abstract

Предложена модель теплового сглаживания поверхности металлов при бомбардировке тяжелыми низкоэнергетическими ионами, альтернативная модели ионной полировки за счет ионного распыления. Получены критерии, позволяющие для произвольной комбинации «ион - мишень» определить интервал энергий иона, в котором применима предлагаемая модель, а также аналитические выражения для основных параметров процесса сглаживания (размер области сглаживания, время сглаживания).