Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/111582
Title: Формирование бимембранных матричных наноструктур на основе анодного оксида алюминия
Authors: Шиманович, Д. Л.
Сокол, В. А.
Чушкова, Д. И.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2014
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract: В работе представлены технологические приемы формирования бимембран на основе Al2O3 с использованием двухстадийного двухстороннего анодирования до полного сквозного прокисления исходных Al пластин. Основная проблема при таком подходе связана с высокими требованиями к степени шероховатости и качеству обработки поверхности исходного Al материала. Из-за этого на заключительной стадии глубокого сквозного двухстороннего анодирования может возникнуть эффект отсечки подвода потенциала, приводящий к появлению локальных недоанодированных Al включений внутри свободных Al2O3 бипластин в области стыка двух встречных барьерных слоев. Ликвидация Al вкраплений осуществлялась применением биполярного анодирования после основной стадии глубокого сквозного анодирования.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/111582
ISBN: 978-985-553-234-8
Sponsorship: Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Appears in Collections:2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
p.242-245.pdf1,17 MBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.