Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/111582
Заглавие документа: Формирование бимембранных матричных наноструктур на основе анодного оксида алюминия
Авторы: Шиманович, Д. Л.
Сокол, В. А.
Чушкова, Д. И.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2014
Издатель: Издательский центр БГУ
Библиографическое описание источника: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Аннотация: В работе представлены технологические приемы формирования бимембран на основе Al2O3 с использованием двухстадийного двухстороннего анодирования до полного сквозного прокисления исходных Al пластин. Основная проблема при таком подходе связана с высокими требованиями к степени шероховатости и качеству обработки поверхности исходного Al материала. Из-за этого на заключительной стадии глубокого сквозного двухстороннего анодирования может возникнуть эффект отсечки подвода потенциала, приводящий к появлению локальных недоанодированных Al включений внутри свободных Al2O3 бипластин в области стыка двух встречных барьерных слоев. Ликвидация Al вкраплений осуществлялась применением биполярного анодирования после основной стадии глубокого сквозного анодирования.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/111582
ISBN: 978-985-553-234-8
Располагается в коллекциях:2014. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
p.242-245.pdf1,17 MBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.