Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/108429
Title: Особенности процессов формирования вертикальных токопроводящих элементов в кремниевых пластинах методом безрезистной фотокаталитической литографии
Authors: Липай, М. С.
Соколов, В. Г.
Степанова, Л. И.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2014
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract: Исследовались процессы химического меднения стеклянных пластинок с нанесенным никелевым рисунком. Показано, что при осаждении меди с толщиной слоя более 0,5-1 мкм происходит постепенное растворение тонкого (0,1 мкм) никелевого подслоя с выходом меди непосредственно на поверхность стеклянной подложки в результате протекания электрохимических процессов окисления металлического никеля. При увеличении длительности процесса химического меднения наблюдается практически полное зарастание отверстий и снижение адгезии сформированного медного проводника до нуля
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/108429
ISBN: 978-985-553-234-8
Sponsorship: Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Appears in Collections:2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
p.200-202.pdf545,97 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.