Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/108425
Title: Оптические и электрофизические свойства нестехиометрического нитрида кремния
Authors: Комаров, Ф. Ф.
Пархоменко, И. Н.
Романов, И. А.
Власукова, Л. А.
Мильчанин, О. В.
Тогамбаева, А. К.
Тоганбаева, Л. К.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2014
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract: Приводятся сравнительные характеристики люминесцентных и электрофизических свойств пленок SiNx, обогащенных кремнием и азотом. Пленки SiNx разного стехиометрического состава осаждались на подложку Si n-типа с кристаллографической ориентацией (100) методом плазменно-стимулированного газофазного осаждения из смеси моносилана (SiH4) и аммиака (NH3) при температуре 300 °С. Установлено, что для исходных структур интенсивность фотолюминесценции выше, а проводимость ниже в случае пленки нитрида кремния с избытком кремния. Спектры ФЛ отожженных структур сравнимы по интенсивности и имеют одинаковую форму. Для объяснения механизмов проводимости и фотолюминесценции была использована модель дефектных состояний.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/108425
ISBN: 978-985-553-234-8
Sponsorship: Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Appears in Collections:2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
p.192-194.pdf273,71 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.