Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/108302
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Бурмаков, А. П. | - |
dc.contributor.author | Кулешов, В. Н. | - |
dc.contributor.author | Черный, В. Е. | - |
dc.contributor.author | Прокопчик, К. Ю. | - |
dc.date.accessioned | 2015-01-28T10:46:08Z | - |
dc.date.available | 2015-01-28T10:46:08Z | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.other | № гос. регистрации 20114965 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/108302 | - |
dc.description.abstract | Объектом исследования являются комбинированная плазма, образованная магнетронным распылением и частотно-импульсным лазерным воздействием на материалы в вакуумных условиях. Цель работы – исследование параметры комбинированной плазмы, образованной магнетронным распылением и частотно-импульсным лазерным воздействием на материалы в вакуумных условиях, и разработки физические основы технологии формирования пленочных покрытий с использованием комбинированной плазмы. Основными методами исследований являются: эмиссионная оптическая спектроскопия, электрофизические и оптические методы измерения параметров магнетронного разряда и лазерной плазмы. В процессе работы использовались вакуумно-плазменные технологические установки магнетронного распыления УВН и ИНВАК с магнетронными распылителями, частотный двухимпульсный лазер LS-2134D, спектральный вычислительный комплекс КСВУ-23, спектрометр S100, осциллограф цифровой В-483, специально созданная в процессе работы спектральная аппаратура. В результате проведенной работы создан экспериментальный модуль для формирования и исследования комбинированного плазменного потока, образованного магнетронным распылением и частотно-импульсным лазерным воздействием на материалы в газах низкого давления. Изучено влияние параметров лазерного излучения на эмиссионно-оптические характеристики лазерной и комбинированной плазмы. Установлено, что генерация импульсной лазерной плазмы приводит к образованию шунтирующего дугового разряда, который оказывает существенное влияние на характеристики магнетронного разряда и комбинированного плазменного потока, а также позволяет проводить процесс комбинированного осаждения при давлениях в вакуумной камере, когда самостоятельное горение магнетронного разряда не реализуется. Разработаны алгоритмы оптического контроля и управления процессом совместного магнетронно-лазерного осаждения пленочных покрытий. Результаты работы могут быть использованы для отработки технологий формирования наноразмерных пленочных покрытий различного назначения. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | Минск : БГУ | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | Исследование комбинированной магнетронно-лазерной плазмы и разработка физических основ технологии формирования пленочных покрытий с использованием комбинированной плазмы : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель А. П. Бурмаков | ru |
dc.type | report | ru |
Располагается в коллекциях: | Отчеты 2013 |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
отчет Бурмаков 20114965.doc | 1,11 MB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.