Построение и программная реализация параллельных алгоритмов для решения задач диффузии примесных атомов и электропереноса носителей заряда в полупроводниковых приборных структурах интегральной электроники : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель В. М. Борздов

Abstract

Объект исследования – интегральный МОП-транзистор. Цель работы – разработка математических моделей, эффективных ал-горитмов и программы на основе численного самосогласованного решения уравнений Пуассона, Шредингера и Больцмана, предназначенных для моделирования электропереноса в короткоканальных субмикронных приборных структурах интегральной электроники. Определение зависимостей электрофизических параметров и электрических характеристик интегральных МОП-транзисторов для различных рабочих режимов этих приборов. В результате проведенных исследований разработаны математические модели, эффективные алгоритмы и программные средства на основе численного самосогласованного решения уравнений Пуассона, Шредингера и Больцмана, предназначенные для моделирования электропереноса в короткоканальных субмикронных приборных структурах интегральной электроники. Определены зависимости электрофизических параметров и электрических характеристик интегральных МОП-транзисторов для различных рабочих режимов этих приборов. Полученные результаты могут быть использованы при моделирова-нии и оптимизации интегральных МОП-транзисторов.