Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/108246| Title: | Осаждение наноразмерных металл-углеродных пленок лазерно-плазменным методом |
| Authors: | Гончаров, М. В. Гусаков, Г. А. Пузырев, М. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Издательский центр БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. |
| Abstract: | Получены экспериментальные образцы двухслойных композиционных покрытий, состоящих из адгезионного алюминиевого слоя толщиной 50-70 нм и алмазоподобных углеродных пленок толщиной 200-250 нм. Оптимизированы режимы осаждения алюминиевой пленки. Пленки практически не содержат на своей поверхности частицы жидкокапельной фазы материала мишени. Получены многокомпонентные покрытия, состоящие из алмазоподобной углеродной пленки с высоким содержанием sp3 – связей и алюминия. Определены режимы осаждения таких покрытий, которые обеспечивают высокую адгезию к подложке. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/108246 |
| ISBN: | 978-985-553-234-8 |
| Sponsorship: | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований |
| Appears in Collections: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| p.167-170.pdf | 595,86 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.