Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/108246
Title: Осаждение наноразмерных металл-углеродных пленок лазерно-плазменным методом
Authors: Гончаров, М. В.
Гусаков, Г. А.
Пузырев, М. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2014
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract: Получены экспериментальные образцы двухслойных композиционных покрытий, состоящих из адгезионного алюминиевого слоя толщиной 50-70 нм и алмазоподобных углеродных пленок толщиной 200-250 нм. Оптимизированы режимы осаждения алюминиевой пленки. Пленки практически не содержат на своей поверхности частицы жидкокапельной фазы материала мишени. Получены многокомпонентные покрытия, состоящие из алмазоподобной углеродной пленки с высоким содержанием sp3 – связей и алюминия. Определены режимы осаждения таких покрытий, которые обеспечивают высокую адгезию к подложке.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/108246
ISBN: 978-985-553-234-8
Sponsorship: Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Appears in Collections:2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
p.167-170.pdf595,86 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.