Структурные изменения в кристаллах кремния, вызванные действием низкоэнергетического рентгеновского излучения

Стебленко, Л. П.; Поперенко, Л. В.; Юргелевич, И. В.; Теселько, П. А.; Мельник, А. К.; Курилюк, А. Н.; Кобзарь, Ю. Л.; Науменко, С. Н.; Калиниченко, Д. В.; Крит, А. Н.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/108134

Title:	Структурные изменения в кристаллах кремния, вызванные действием низкоэнергетического рентгеновского излучения
Authors:	Стебленко, Л. П. Поперенко, Л. В. Юргелевич, И. В. Теселько, П. А. Мельник, А. К. Курилюк, А. Н. Кобзарь, Ю. Л. Науменко, С. Н. Калиниченко, Д. В. Крит, А. Н.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2014
Publisher:	Издательский центр БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract:	Изучались процессы структурной релаксации в кристаллах кремния n- и p-типов проводимости после воздействия малодозовых ионизирующих излучений для выяснения механизмов влияния радиационных полей на твердотельные объекты, и для решения практических задач прогнозирования поведения полупроводниковых приборов и интегральных схем при их функционированиии в условиях влияния внешних факторов. Показано, что, несмотря на наличие аморфных включений, структурные нанообъекты, которые формируются на поверхности кремния после РО, содержат в своем составе преимущественно не аморфные, а кристаллические фазы.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/108134
ISBN:	978-985-553-234-8
Sponsorship:	Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Appears in Collections:	2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
p.144-146.pdf		250,75 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar