Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/108134| Заглавие документа: | Структурные изменения в кристаллах кремния, вызванные действием низкоэнергетического рентгеновского излучения |
| Авторы: | Стебленко, Л. П. Поперенко, Л. В. Юргелевич, И. В. Теселько, П. А. Мельник, А. К. Курилюк, А. Н. Кобзарь, Ю. Л. Науменко, С. Н. Калиниченко, Д. В. Крит, А. Н. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2014 |
| Издатель: | Издательский центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. |
| Аннотация: | Изучались процессы структурной релаксации в кристаллах кремния n- и p-типов проводимости после воздействия малодозовых ионизирующих излучений для выяснения механизмов влияния радиационных полей на твердотельные объекты, и для решения практических задач прогнозирования поведения полупроводниковых приборов и интегральных схем при их функционированиии в условиях влияния внешних факторов. Показано, что, несмотря на наличие аморфных включений, структурные нанообъекты, которые формируются на поверхности кремния после РО, содержат в своем составе преимущественно не аморфные, а кристаллические фазы. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/108134 |
| ISBN: | 978-985-553-234-8 |
| Финансовая поддержка: | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований |
| Располагается в коллекциях: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| p.144-146.pdf | 250,75 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.