Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/108009
Title: Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния
Authors: Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Бринкевич, Д. И.
Просолович, В. С.
Русакевич, Д. А.
Янковский, Ю. Н.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2014
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract: Исследовалось влияние радиационных дефектов, созданных имплантацией, на свойства приповерхностной (рабочей) области пластин монокристаллического кремния. Полированные пластины кремния марки КЭФ 4,5(100), КДБ 12(100) и КДБ 10(111) толщиной 460 ± 20 мкм имплантировались ионами B+ (Е= 500 кэВ) и Р+ (Е= 1000 кэВ) дозами от 5Е12 до 5Е14 см-2 при комнатной температуре на ускорителе ионов DTL. В процессе имплантации наблюдалось приповерхностное упрочнение монокристаллов: микротвердость снижалась при увеличении нагрузки и выходила на стационарное значение при Р свыше 100 г. Увеличение дозы имплантации в пределах до 5Е13 см-2 приводило к росту микротвердости приповерхностного слоя, т.е. к увеличению эффекта приповерхностного упрочнения.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/108009
ISBN: 978-985-553-234-8
Sponsorship: Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Appears in Collections:2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
p.109-112.pdf247,72 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.