Формирование пористого кремния в импульсном гальваностатическом режиме

Abstract

В работе осуществлен поиск способов получения упорядоченных матриц пористого кремния с регулярной структурой пор, предназначенных для получения массивов низкоразмерных структур с высоким аспектным соотношением и нанокомпозитов. Проведенные исследования процессов анодирования монокристаллического кремния в импульсном гальваностатическом режиме позволили установить, что при плотностях анодного тока 100 – 120 мА/см2 происходит формирование слоев пористого кремния с выраженной вертикальной структурой пор с небольшой дисперсией значений величины среднего диаметра, имеющих гладкие стенки с менее развитой морфологией поверхности, чем у аналогичных структур, сформированных в обычных гальваностатических режимах. Полученные данные могут быть использованы для разработки технологии формирования нанокомпозитных материалов и массивов наноструктур на основе пористого кремния.