Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/107975
Title: | Затухание механических колебаний осциллирующих структур МЭМС в атмосфере |
Authors: | Редько, С. В. Чубенко, Е. Б. Петрович, В. А. Бондаренко, В. П. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2014 |
Publisher: | Издательский центр БГУ |
Citation: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. |
Abstract: | В настоящей работе было проведено экспериментальное исследование и численное моделирование нескольких типов сложных МЭМС структур в условиях атмосферного воздуха: кантеливер, колеблющийся вне плоскости пластины, камертоны, колеблющиеся в плоскости и вне плоскости пластины, и поворотное зеркало. Результаты эксперимента и численного моделирования затухания механических колебаний в осциллирующих МЭМС структурах хорошо согласуются друг с другом. Разница значений добротности находится в пределах 2-19%, что подтверждает обоснованность двумерного приближения, а также использования упругих сил/моментов пружин вместо вычисления упругих сил деформации. Доказана возможность применения предложенного метода для оценки влияния атмосферного воздуха на характеристики осциллирующих МЭМС структур. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/107975 |
Sponsorship: | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований |
Appears in Collections: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
p.81-84.pdf | 1,18 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.