Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/107975
Title: Затухание механических колебаний осциллирующих структур МЭМС в атмосфере
Authors: Редько, С. В.
Чубенко, Е. Б.
Петрович, В. А.
Бондаренко, В. П.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2014
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Abstract: В настоящей работе было проведено экспериментальное исследование и численное моделирование нескольких типов сложных МЭМС структур в условиях атмосферного воздуха: кантеливер, колеблющийся вне плоскости пластины, камертоны, колеблющиеся в плоскости и вне плоскости пластины, и поворотное зеркало. Результаты эксперимента и численного моделирования затухания механических колебаний в осциллирующих МЭМС структурах хорошо согласуются друг с другом. Разница значений добротности находится в пределах 2-19%, что подтверждает обоснованность двумерного приближения, а также использования упругих сил/моментов пружин вместо вычисления упругих сил деформации. Доказана возможность применения предложенного метода для оценки влияния атмосферного воздуха на характеристики осциллирующих МЭМС структур.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/107975
Sponsorship: Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Appears in Collections:2014. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
p.81-84.pdf1,18 MBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.