Затухание механических колебаний осциллирующих структур МЭМС в атмосфере

Abstract

В настоящей работе было проведено экспериментальное исследование и численное моделирование нескольких типов сложных МЭМС структур в условиях атмосферного воздуха: кантеливер, колеблющийся вне плоскости пластины, камертоны, колеблющиеся в плоскости и вне плоскости пластины, и поворотное зеркало. Результаты эксперимента и численного моделирования затухания механических колебаний в осциллирующих МЭМС структурах хорошо согласуются друг с другом. Разница значений добротности находится в пределах 2-19%, что подтверждает обоснованность двумерного приближения, а также использования упругих сил/моментов пружин вместо вычисления упругих сил деформации. Доказана возможность применения предложенного метода для оценки влияния атмосферного воздуха на характеристики осциллирующих МЭМС структур.