Исследование структуры теплового сопротивления ДМОП-транзисторов неразрушающим методом ТРДС

Abstract

Методом тепловой релаксационной дифференциальной спектрометрии (ТРДС) с использованием релаксационного импеданс-спектрометра, разработанного в Белорусском национальном техническом университете (БНТУ), исследована структура теплового сопротивления ДМОП-транзисторов. Определены тепловые постоянные элементов металлокерамического корпуса и структура теплового сопротивления в виде дискретного и непрерывного спектра. Дифференциальный спектр рассчитан на основе производных высшего порядка динамического теплового импеданса и соответствует модели Фостера, а дискретный – модели Кауера. Предложенный метод тепловой релаксационной спектрометрии обладает высокой эффективностью при решении технологических проблем монтажа кристаллов и для SPICE-моделирования мощных силовых полупроводниковых приборов.