Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/107210Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Лазарук, С. К. | - |
| dc.contributor.author | Долбик, А. В. | - |
| dc.contributor.author | Высоцкий, В. Б. | - |
| dc.contributor.author | Турцевич, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Шведов, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Лабунов, В. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-01-13T09:58:37Z | - |
| dc.date.available | 2015-01-13T09:58:37Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-553-234-8 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/107210 | - |
| dc.description.abstract | В данной работе разработан метод формирования упорядоченных макропор внутри кремниевых подложек. В качестве исходных кремниевых подложек использовались пластины n-типа с ориентацией (100), легированные фосфором, с удельным сопротивлением 20 Ом см. Проведенные исследования показали, что кремниевые структуры с глубокими отверстиями и изоляцией на поверхности этих отверстий соответствуют требованиям, предъявляемым к структурам, используемым для реализации на их основе трехмерных металлических межсоединений ИС и имеют преимущества по сравнению с используемым в электронной промышленности Bosch-методом формирования глубоких отверстий. | ru |
| dc.description.sponsorship | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Издательский центр БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Кремниевые структуры с глубокими отверстиями и их применение в интегральной электронике | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2014. Материалы и структуры современной электроники | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| p.61-63.pdf | 488,52 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.