Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/107200
Заглавие документа: | Спектры комбинационного рассеяния света гетерогенных наноструктур, полученных облучением кремнийорганических пленок ионами гелия |
Авторы: | Белявский, Д. С. Леонтьев, А. В. Власукова, Л. А. Пархоменко, И. Н. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2014 |
Издатель: | Издательский центр БГУ |
Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. |
Аннотация: | В настоящей работе рассматривается влияние ионного облучения на оптические свойства кремнийорганических полимеров, таких как полигидрометилсилоксан (SOG), которые могут быть подходящими материалами для изготовления оптических устройств. Для изучения зависимости коэффициента преломления (∆n) от дозы ионно-лучевого облучения использовались образцы SOG толщиной 520 нм, нанесенные на кремниевые подложки и облученные различными дозами ионов гелия. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/107200 |
ISBN: | 978-985-553-234-8 |
Финансовая поддержка: | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований |
Располагается в коллекциях: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
p.35-37.pdf | 635,89 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.