Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/107200
Заглавие документа: Спектры комбинационного рассеяния света гетерогенных наноструктур, полученных облучением кремнийорганических пленок ионами гелия
Авторы: Белявский, Д. С.
Леонтьев, А. В.
Власукова, Л. А.
Пархоменко, И. Н.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2014
Издатель: Издательский центр БГУ
Библиографическое описание источника: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С.
Аннотация: В настоящей работе рассматривается влияние ионного облучения на оптические свойства кремнийорганических полимеров, таких как полигидрометилсилоксан (SOG), которые могут быть подходящими материалами для изготовления оптических устройств. Для изучения зависимости коэффициента преломления (∆n) от дозы ионно-лучевого облучения использовались образцы SOG толщиной 520 нм, нанесенные на кремниевые подложки и облученные различными дозами ионов гелия.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/107200
ISBN: 978-985-553-234-8
Финансовая поддержка: Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований
Располагается в коллекциях:2014. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
p.35-37.pdf635,89 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.