Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/107200| Title: | Спектры комбинационного рассеяния света гетерогенных наноструктур, полученных облучением кремнийорганических пленок ионами гелия |
| Authors: | Белявский, Д. С. Леонтьев, А. В. Власукова, Л. А. Пархоменко, И. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Издательский центр БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. VI Междунар. науч. конф., Минск, 8-9 окт. 2014 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск: Изд. центр БГУ, 2014. - С. |
| Abstract: | В настоящей работе рассматривается влияние ионного облучения на оптические свойства кремнийорганических полимеров, таких как полигидрометилсилоксан (SOG), которые могут быть подходящими материалами для изготовления оптических устройств. Для изучения зависимости коэффициента преломления (∆n) от дозы ионно-лучевого облучения использовались образцы SOG толщиной 520 нм, нанесенные на кремниевые подложки и облученные различными дозами ионов гелия. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/107200 |
| ISBN: | 978-985-553-234-8 |
| Sponsorship: | Белорусский Республиканский Фонд Фундаментальных Исследований |
| Appears in Collections: | 2014. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| p.35-37.pdf | 635,89 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.