Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/103577
Title: Поверхность монокристаллов как нанотехнологическая среда
Authors: Юхневич, Анатолий Викторович
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
Issue Date: 1998
Publisher: БГУ
Citation: Химические проблемы создания новых материалов и технологий. С. 483-488
Abstract: Приведены результаты исследований, относящиеся к решению ряда задач нанотехнологии. Предложено рассматривать поверхность монокристаллов как перспективную исходную двумерную среду, на которой можно с атомной точностью формировать отдельные электронные приборы нанометровых размеров и их упорядоченные множества в сложных устройствах вычислительной и информационной техники. Экспериментально изучены способы получения совершенных нанотехнологических поверхностей на основе монокристаллов кремния. Показано, что технологическим процессом, перспективным для формирования таких поверхностей, является низкотемпературное кристаллографически селективное химическое травление в щелочных растворах. Проведено экспериментальное исследование адсорбции атомов щелочных металлов на поверхности монокристаллов крем¬ния в вакууме. Показано, что малоатомные поверхностные кластеры, сформированные вблизи одиночных адсорбированных атомов металла, можно рассматривать как прототипы «одноатомных» ячеек памяти в запоминающих устройствах с предельно высокой плот¬ностью упаковки информации.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/103577
Appears in Collections:1998. Химические проблемы создания новых материалов и технологий.

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
поверхность монокристаллов.pdf286,19 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.