Поверхность монокристаллов как нанотехнологическая среда

Abstract

Приведены результаты исследований, относящиеся к решению ряда задач нанотехнологии. Предложено рассматривать поверхность монокристаллов как перспективную исходную двумерную среду, на которой можно с атомной точностью формировать отдельные электронные приборы нанометровых размеров и их упорядоченные множества в сложных устройствах вычислительной и информационной техники. Экспериментально изучены способы получения совершенных нанотехнологических поверхностей на основе монокристаллов кремния. Показано, что технологическим процессом, перспективным для формирования таких поверхностей, является низкотемпературное кристаллографически селективное химическое травление в щелочных растворах. Проведено экспериментальное исследование адсорбции атомов щелочных металлов на поверхности монокристаллов крем¬ния в вакууме. Показано, что малоатомные поверхностные кластеры, сформированные вблизи одиночных адсорбированных атомов металла, можно рассматривать как прототипы «одноатомных» ячеек памяти в запоминающих устройствах с предельно высокой плот¬ностью упаковки информации.