Browsing by Author Шекелевский, В. В.
Showing results 1 to 1 of 1
| Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|---|
| 2023 | Равномерность осаждаемых ультратонких покрытий, формируемых методом магнетронного распыления | Шекелевский, В. В.; Логунов, К. Т.; Котов, Д. А. |

