Browsing by Author Шекелевский, В. В.
Showing results 1 to 1 of 1
Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|---|
2023 | Равномерность осаждаемых ультратонких покрытий, формируемых методом магнетронного распыления | Шекелевский, В. В.; Логунов, К. Т.; Котов, Д. А. |