Просмотр Авторы Шекелевский, В. В.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2023 | Равномерность осаждаемых ультратонких покрытий, формируемых методом магнетронного распыления | Шекелевский, В. В.; Логунов, К. Т.; Котов, Д. А. |