Просмотр Авторы Сухан, В. В.
Результаты 1 - 1 из 1
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
|---|---|---|---|
| 2008 | Использование вертикальных реакторов пониженного давления для осавдения пленок поликристаллического кремния, нитрида кремния и оксида кремния | Наливайко, О. Ю.; Сухан, В. В.; Плебанович, В. И.; Каленик, В. И. |