Просмотр Авторы Мяконьких, А. В.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2019 | Водородный перенос слоев кремния на сапфир и кремний c HIGH-K PEALD нанослоями диэлектриков | Попов, В. П.; Антонов, В. А.; Гутаковский, А. К.; Тысченко, И. Е.; Мяконьких, А. В.; Руденко, К. В. |