Browsing by Author Мяконьких, А. В.
Showing results 1 to 1 of 1
Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|---|
2019 | Водородный перенос слоев кремния на сапфир и кремний c HIGH-K PEALD нанослоями диэлектриков | Попов, В. П.; Антонов, В. А.; Гутаковский, А. К.; Тысченко, И. Е.; Мяконьких, А. В.; Руденко, К. В. |