Просмотр Авторы Колковский, В. И.
Результаты 1 - 3 из 3
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2003 | Стойкость к окислению резистов, полученных методом внедрения ионов в металлические матрицы на ситалловой подложке | Комаров, Ф. Ф.; Поздеева, Т. В.; Колковский, В. И. |
| 2003 | Стойкость к окислению резистов, полученных методом внедрения ионов в металлические матрицы на ситалловой подложке | Комаров, Ф. Ф.; Поздеева, Т. В.; Колковский, В. И. |
| 1999 | Формирование скрытых изолирующих слоёв в кремнии при субстехиометрической имплантации ионов азота | Комаров, Ф. Ф.; Колковский, В. И. |
