Browsing by Author Колковский, В. И.
Showing results 1 to 3 of 3
Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
| 2003 | Стойкость к окислению резистов, полученных методом внедрения ионов в металлические матрицы на ситалловой подложке | Комаров, Ф. Ф.; Поздеева, Т. В.; Колковский, В. И. |
| 2003 | Стойкость к окислению резистов, полученных методом внедрения ионов в металлические матрицы на ситалловой подложке | Комаров, Ф. Ф.; Поздеева, Т. В.; Колковский, В. И. |
| 1999 | Формирование скрытых изолирующих слоёв в кремнии при субстехиометрической имплантации ионов азота | Комаров, Ф. Ф.; Колковский, В. И. |