Просмотр Авторы Дорохович, К. А.
Результаты 1 - 1 из 1
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
|---|---|---|---|
| 2023 | Повышение селективности плазмохимического травления SiO2/Si при использовании смеси CHF3/CF4 | Наливайко, О. Ю.; Карась, О. В.; Дорохович, К. А.; Жигулин, Д. В. |