Browsing by Author Вечер, Д. В.
Showing results 1 to 4 of 4
| Preview | Issue Date | Title | Author(s) |
| May-2007 | Влияние лазерного геттерирования на структурные и электрические параметры эпитаксиальных слоев кремния | Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
| Jan-2008 | Влияние лазерного геттерорирования кремниевых пластин на свойства границы раздела Si – SIO2 | Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Понарядов, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
| 2007 | Влияние лазерной обработки импульсами наносекундной длительности на поверхностные свойства кремния | Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, B. C.; Петлицкая, Т. В. |
| May-2006 | Модель термического окисления кремния при быстрой термической обработке | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Петлицкая, Т. В. |