Просмотр Авторы Батулев, А. А.
Результаты 1 - 3 из 3
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2017 | Влияние температуры на структуру слоев SiC, сформированных при отжиге кремниевых пластин в вакууме | Батулев, А. А.; Лобанок, М. В.; Прокопьев, С. Л.; Новиков, А. Г.; Мильчанин, О. В.; Гайдук, П. И. |
| 2018 | Разработать и исследовать физико-технологические режимы роста тонких и сверхтонких слоев SiC на кремниевых пластинах для перспективных приборных структур микро- и оптоэлектроники : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель П. И. Гайдук | Гайдук, П. И.; Прокопьев, С. Л.; Ивлев, Г. Д.; Новиков, А. Г.; Лобанок, М. В.; Мухаммад, А. И.; Батулев, А. А. |
| 2016 | Формирование тонких слоев SiC на кремниевых пластинах с кремний-германиевым буфферным слоем | Новиков, А. Г.; Батулев, А. А.; Гайдук, П. И. |