Просмотр Авторы Ковальски, М.
Результаты 3 - 3 из 3
< предыдущий
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2003 | Прогнозирование параметров ионной имплантации в кремний в технологии КНИ (smart-cut) | Миронов, А. М.; Комаров, А. Ф.; Ювченко, В. Н.; Партыка, Я.; Ковальски, М. |