Лазерно-плазменное осаждение защитных наноструктурированных углеродных покрытий для оптики и электроники

Гончаров, В. К.; Гусаков, Г. А.; Пузырев, М. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/51017

Title:	Лазерно-плазменное осаждение защитных наноструктурированных углеродных покрытий для оптики и электроники
Authors:	Гончаров, В. К. Гусаков, Г. А. Пузырев, М. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2010
Publisher:	Издательский центр БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 193-196.
Abstract:	Исследовано влияние структуры графитовой мишени на характеристики углеродных пленок, осаждаемых лазерно-плазменным методом. Представленные результаты показывают что структура источника углерода оказывает существенное влияние на характеристики углеродных пленок, получаемых данным методом. На характеристики углеродных покрытий оказывает влияние также примесный состав источников углерода, прежде всего содержание в них примеси водорода. В целом, полученные в настоящей работе углеродные пленки характеризуются высоким удельным сопротивлением, высокими значениями микротвердости и высокой прозрачностью в видимом и ближнем ИК диапазонах. По совокупности данных характеристик эти пленки могут рассматриваться в качестве перспективного защитного материала для использования в оптике и электронике.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/51017
ISBN:	978-985-476-885-4
Appears in Collections:	2010. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
В. К. Гончаров, Г. А. Гусаков, М. В. Пузырев.pdf		265,54 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar