Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48457
Title: | Свойства пленок оксида цинка, нанесенных методом ионно-лучевого распыления оксидных мишеней |
Authors: | Достанко, А. П. Голосов, Д. А. Мельников, С. Н. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2013 |
Abstract: | Проведены исследования влияния параметров процесса нанесения на стехиометрический состав, электрофизические и оптические свойства пленок оксида цинка, полученных методом ионно-лучевого распыления ZnO-мишени. Установлено, что при распылении ZnO-мишени стехиометрического состава в нанесенных пленках наблюдается недостаток кислорода. Даже при распылении мишени в среде чистого O2 стехиометрический индекс пленок ZnO не превышал 0.98. Уменьшение содержания кислорода в нанесенных пленках сопровождалось резким уменьшением удельного сопротивле- ния до 35 – 40 Ом×м и сдвигом края оптического поглощения с 389 до 404 нм. Все изменения оптических и электрических свойств пленок ZnO можно объяснить изменением концентрации и подвижности свободных носителей в пленке. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48457 |
Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Достанко.pdf | 1,78 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.