Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB2-TiSi2, получение и свойства

Abstract

Исследуемые в работе покрытия, получали методом магнетронного распыления мишени, состоящей из AlN-TiB2- TiSi2. Распыление проводили в атмосфере Ar. Проводился анализ структуро-фазового состава, элементного состава, морфологии, а также механических свойств покрытий до и после отжига при высоких температурах до 1350 С. Получены покрытия со значением индекса вязкопластичности 0,07. Значение твердости покрытия Н = 15,3 ГПа изменилось после отжига и составило (22-23.5)ГПа. Это обеспечивает высокие демпфирующие свойства такого покрытия, при этом аморфноподобная структура представляет перспективным использование таких покрытий в качестве диффузионных барьеров, как в виде самостоятельных элементов, так и в качестве контактирующего слоя в многослойных износостойких покрытиях.