Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28256
Title: | МАССОПЕРЕНОС В Si ПРИ НАНЕСЕНИИ Ti ТОНКИХ ПЛЕНОК, АССИСТИРОВАННОМ СОБСТВЕННЫМИ ИОНАМИ |
Authors: | Михалкович, О. М. Гусаков, В. Е. Ташлыков, И. С. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2011 |
Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
Abstract: | В настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si, модифицированном осаждением Ti покрытий в условиях ассистирования собственными ионами, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28256 |
Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Михалкович-Ташлыков.pdf | 332,92 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.