Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/254615| Заглавие документа: | Быстрые технические процессы в технологии создания электронной элементной базы для аэрокосмической техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.01 / Солодуха Виталий Александрович ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
| Авторы: | Солодуха, Виталий Александрович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::МЕЖОТРАСЛЕВЫЕ ПРОБЛЕМЫ::Космические исследования ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение 05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | Минск |
| Аннотация: | Цель работы: установление закономерностей влияния быстрой термической обработки на поверхностные свойства кремния, диэлектрическме и ионно-легированные слои, твердофазный синтез PtSi и разработка технологических процессов, обеспечивающих улучшение электрических характеристик элементной базы для аэрокосмической техники. |
| Аннотация (на другом языке): | Purpose of work: determination of the influence regularities of the rapid thermal treatment on the surface properties of silicon, dielectric and ion-doped, layers, solid phase synthesis of PtSi and development of the technological processes, ensuring enhancement of the electric parameters of the element base for the aircpase hardware. |
| Доп. сведения: | Научная работа выполнена в Белорусском государственном университете и ОАО "Интеграл" - управляющей компании холдинга "Интеграл". Научный консультант - Пилипенко Владимир Александрович, член-корреспондент НАН Беларуси, доктор технических наук, профессор, заместитель директора по научному развитию ГЦ "Белмикроанализ" ОАО "Интеграл" |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/254615 |
| Располагается в коллекциях: | 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Автореферат 05.27.01 Солодуха.pdf | 12,12 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.