Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223340| Title: | Влияние лазерной обработки импульсами наносекундной длительности на поверхностные свойства кремния |
| Authors: | Пилипенко, В. А. Вечер, Д. В. Горушко, В. А. Сякерский, B. C. Петлицкая, Т. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 53-55. |
| Abstract: | Изложены результаты использования лазерного излучения наносекундной длительности импульса в технологии создания сверхбольших интегральных схем. Показано, что в зависимости от режима обработки можно проводить как устранение механических нарушений кристаллической решетки кремния, так и создавать геттерирующий слой, обеспечивающий очистку кремния от примесных загрязнений. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223340 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.