Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/215208| Заглавие документа: | Оценка нагрева поверхности однородной металлической мишени киловольтным электронным зондом |
| Другое заглавие: | Estimation of heating of surface of homogeneous metal targets by kilovolt electron beam / M. A. Stepovich, A. N. Amrastanov, E. V. Seregina |
| Авторы: | Степович, М. А. Амрастанов, А. Н. Серегина, Е. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 107-111. |
| Аннотация: | Методами математического моделирования рассмотрена задача распределения тепла в металлических материалах, облучённых остро сфокусированными электронными пучками киловольтных энергий (от 10 по 30 кэВ) при отсутствии теплообмена мишени с внешней средой. Модель построена на решении многомерного стационарного уравнения теплопроводности с использованием функции Грина. В качестве функции источника использована модель, применимая для широкого класса твердых тел и диапазона энергий первичных электронов, основанная на раздельном описании вкладов в рассеиваемую в мишени энергию поглощенных и обратно рассеянных электронов. Использованием особенностей такого подхода объяснена немонотонная зависимость температуры наибольшего нагрева мишени от энергии первичных электронов. Полученные результаты могут быть использованы при моделировании нагрева металлических элементов материалов и структур микро- и наноэлектроники. |
| Аннотация (на другом языке): | The problem of heat distribution in metallic materials irradiated with sharply focused electron beams of kilovolt energies (from 10 to 30 keV) in the absence of heat exchange between the target and the external medium was considered by mathematical modeling methods. The model is based on solving a multidimensional stationary heat equation using the Green function. The source function is a model applicable to a wide class of solids and a range of primary electron energies, based on a separate description of the contributions to the energy of the absorbed and backscattered electrons scattered in the target. Using the features of this approach, the nonmonotonic dependence of the temperature of the maximum heating of the target on the energy of the primary electrons is explained. The results obtained can be used in modeling the heating of metallic elements of materials and structures of micro- and nanoelectronics. |
| Доп. сведения: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/215208 |
| ISBN: | 978-985-566-671-5 |
| Финансовая поддержка: | Исследования выполнены при финансовой поддержке гранта Российского фонда фундаментальных исследований и правительства Калужской области (проект № 18-41-400001). |
| Располагается в коллекциях: | 2018. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 107-111.pdf | 647,45 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.