Технология производства интегральных микросхем. УД-3451/уч.

Abstract

Программа учебной дисциплины «Технология производства интегральных микросхем» разработана для специализации 1-31 04 07-02 физика наноматериалов и нанотехнологий. Спецкурс посвящен вопросам теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и в частности конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик.