Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/212527| Title: | Технология производства интегральных микросхем. УД-3451/уч. |
| Authors: | Пилипенко, Владимир Александрович |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | Физический факультет, кафедра физики полупроводников и наноэлектроники. |
| Abstract: | Программа учебной дисциплины «Технология производства интегральных микросхем» разработана для специализации 1-31 04 07-02 физика наноматериалов и нанотехнологий. Спецкурс посвящен вопросам теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и в частности конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/212527 |
| Appears in Collections: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Пилипенко В.А. Технология производства ИМС.pdf | 415,27 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.